潔淨度達 Class 100K

提供無塵環境進行儀器組裝測試

 

太空電漿實驗腔

直徑1.5米，真空度可達10-7 torr，包含壹組三向旋轉桌

提供太空環境之高真空以進行儀器之測試校正

 

離子束

離子源種類：H+, He+, O+, N+, Ar+ 最高能量: 130KeV

粒子分析儀器校正之標準源

 

離子束診測儀器

法拉第杯陣列 微管道光電倍增板 靜電式能量分析儀

用於量測離子束之空間分佈及能量分佈

 

邏輯分析儀等高階電子儀器，電腦輔助設計與結構、熱流分析軟體等

儀器設計發展過程所必須之相關驗證軟體及量測儀器