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電漿科學應用實驗室

本實驗室所進行的實驗主要在大氣壓力下,使用惰性氣體藉由石英管作介電質,施加電場以產生非熱平衡電漿。一般熱平衡電漿電子溫度與中性粒子溫度相同,而非熱平衡電漿具有電子溫度遠高於中性粒子溫度的特性,能夠產生更高密度且具電漿化學特性的活躍粒子,其電漿溫度還能維持接近於室溫。因此非熱平衡電漿在電漿醫療及半導體科技領域極具優勢。

本實驗在大氣壓環境下執行,毋需昂貴真空設備便能進行,透過控制放電參數(輸入功率、輸入電壓頻率及波形、氣壓、氣體流速、混合氣體種類),再藉由各種量測方法(例如圖中:OES發射光譜量測)量測非熱平衡電漿的特性(電漿氣體溫度、電子密度、電子能量分布)。