電漿學分學程系列演講 暨 通識認證講座

張貼者:2017年12月6日 下午7:59Ann-Chen Jang   [ 已更新 2017年12月6日 下午7:59 ]
電漿蝕刻於積體電路中的應用 
A series of talks on interdisciplinary program in plasma: Plasma Etch Application in Integration Circuit 

演 講 者:陳炳儒工程師
                 
科林研發(Lam Research)
經     歷:科林研發/台灣應用材料/工研院 

主辦單位:電漿學分學程/太空與電漿科學所
演講地點:綜合大樓2樓 48218教室
演講日期:2017/12/13 (三) 18:00~20:00
                                            (現場敬備茶點)
演講大網:
(1) 積體電路之介紹:邏輯閘和記憶體
(2) 製程之介紹:薄膜/曝光/蝕刻/ CMP /佈植
(3) 電漿蝕刻之應用:蝕刻原理/不同蝕刻方式