國立成功大學跨領域電漿學分學程

Certificate Program in Plasma

- 學程公告 -

電漿蝕刻於積體電路中的應用

A series of talks on interdisciplinary program in plasma: Plasma Etch Application in Integration Circuit

演講者：陳炳儒工程師

科林研發(Lam Research)

經歷：科林研發/台灣應用材料/工研院

主辦單位：電漿學分學程/太空與電漿科學所

演講地點：綜合大樓2樓 48218教室

演講日期：2017/12/13 (三) 18:00~20:00

(現場敬備茶點)

演講大網：

(1) 積體電路之介紹：邏輯閘和記憶體

(2) 製程之介紹：薄膜/曝光/蝕刻/ CMP /佈植

(3) 電漿蝕刻之應用：蝕刻原理/不同蝕刻方式