電漿學分學程系列演講 暨 通識認證講座

張貼日期:2017/12/7 上午 03:59:30

電漿蝕刻於積體電路中的應用

A series of talks on interdisciplinary program in plasma: Plasma Etch Application in Integration Circuit

演 講 者:陳炳儒工程師

科林研發(Lam Research)

經 歷:科林研發/台灣應用材料/工研院

主辦單位:電漿學分學程/太空與電漿科學所

演講地點:綜合大樓2樓 48218教室

演講日期:2017/12/13 (三) 18:00~20:00

(現場敬備茶點)

演講大網:

(1) 積體電路之介紹:邏輯閘和記憶體

(2) 製程之介紹:薄膜/曝光/蝕刻/ CMP /佈植

(3) 電漿蝕刻之應用:蝕刻原理/不同蝕刻方式